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多晶硅片酸腐蝕制絨面技術(shù)

2013-08-16
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因?yàn)樵谇懈詈玫亩嗑Ч杵蛼伖夂蟮膯尉Ч杵倪^程中所產(chǎn)生的損傷會(huì)被酸性混合溶液腐蝕。該混合物中包括氫氟酸,硝酸,與去離子水,而磷酸或硫酸則作為稀釋劑。在腐蝕剛開始的階段,因?yàn)楣杵懈顣r(shí)產(chǎn)生的表面裂縫,轉(zhuǎn)化深和長(zhǎng)的坑。這種坑所產(chǎn)生的反射是很低的。然而,由于進(jìn)行酸腐蝕損壞的表面區(qū)域之外,更多的反射,泡沫般的腐蝕絨面獲得。

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