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光學(xué)相關(guān)數(shù)據(jù)整合
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激光干涉儀工作原理
2013-06-25
立即下載
干涉儀是以激光波長為已知長度、利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量工具。激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。
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