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微光機電系統(tǒng)在軍事和民用領(lǐng)域的...
發(fā)布時間
2012.10.05
微光機電系統(tǒng)(MOEMS)是近幾年在微機電系統(tǒng)(MEMS)中發(fā)展起來的一支極具活力的新技術(shù)系統(tǒng),它是...
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